蓝宝石是一种高质量的衬底材料，广泛应用于半导体、光电子、微电子等领域。为了保证蓝宝石衬底片的质量，需要对其进行测试。本标准旨在规范蓝宝石图形化衬底片测试的技术要求、测试方法、测试结果的判定及报告编制等内容。

1. 技术要求
1.1 蓝宝石衬底片应符合GB/T 19569-2004《蓝宝石单晶衬底片》的要求。
1.2 蓝宝石衬底片的表面应平整、光滑，无明显划痕、裂纹、气泡等缺陷。
1.3 蓝宝石衬底片的晶面应为(0001)面，其晶向应为C轴垂直于衬底片表面。

2. 测试方法
2.1 衬底片的准备
2.1.1 按照GB/T 19569-2004的要求，选择符合要求的蓝宝石衬底片。
2.1.2 将衬底片进行清洗，去除表面的污垢和杂质。
2.1.3 在衬底片表面涂覆一层光刻胶，待光刻胶干燥后，进行曝光和显影，得到图形化衬底片。

2.2 测试仪器
2.2.1 光学显微镜：用于观察衬底片表面的缺陷和晶面方向。
2.2.2 X射线衍射仪：用于测定衬底片的晶向。

2.3 测试步骤
2.3.1 用光学显微镜观察衬底片表面，检查是否存在明显的缺陷。
2.3.2 用X射线衍射仪测定衬底片的晶向，确保其为(0001)面，且C轴垂直于衬底片表面。
2.3.3 对图形化衬底片进行观察和测量，检查其图形的清晰度和尺寸精度是否符合要求。

3. 测试结果的判定
3.1 衬底片表面无明显缺陷，晶向为(0001)面，且C轴垂直于衬底片表面，测试结果合格。
3.2 衬底片表面存在明显缺陷，晶向不为(0001)面，或C轴不垂直于衬底片表面，测试结果不合格。

4. 报告编制
4.1 测试报告应包括以下内容：
4.1.1 衬底片的基本信息，包括编号、规格、生产厂家等。
4.1.2 测试方法和测试仪器的名称、型号、参数等。
4.1.3 测试结果的详细数据和判定结果。
4.1.4 结论和建议。

相关标准
GB/T 19569-2004 蓝宝石单晶衬底片
GB/T 19570-2004 蓝宝石衬底片的晶向测定方法
GB/T 19571-2004 蓝宝石衬底片的缺陷检测方法
GB/T 19572-2004 蓝宝石衬底片的尺寸测量方法
GB/T 19573-2004 蓝宝石衬底片的表面质量检测方法