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超高真空不锈钢真空部件表面处理方法是指对超高真空不锈钢真空部件表面进行处理，以满足超高真空环境下的使用要求。本标准适用于超高真空不锈钢真空部件的表面处理，包括机械抛光、电解抛光、化学抛光、电化学抛光、电子束熔覆、离子束熔覆、等离子喷涂、热喷涂、化学气相沉积、物理气相沉积等方法。

本标准要求超高真空不锈钢真空部件表面处理后，表面应平整、光洁、无氧化物、无油污、无划痕、无裂纹、无气孔、无杂质等缺陷。表面处理后的超高真空不锈钢真空部件应符合超高真空环境下的使用要求，具有良好的耐腐蚀性、耐磨性、耐高温性、耐低温性、耐辐射性等特性。

本标准规定了超高真空不锈钢真空部件表面处理的试验方法，包括表面粗糙度测量、表面形貌观察、表面成分分析、表面硬度测试、表面腐蚀试验等。同时，本标准还规定了超高真空不锈钢真空部件表面处理后的检验规则和标志、包装、运输、贮存等内容。

相关标准：
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