一、适用范围
本标准适用于半导体行业中的各类企业，包括芯片制造、封装测试、半导体材料生产等。

二、排放限值
1. COD排放限值不得超过100mg/L；
2. BOD5排放限值不得超过30mg/L；
3. SS排放限值不得超过50mg/L；
4. pH值应在6.5-8.5之间；
5. 其他污染物排放限值应符合国家和地方相关标准。

三、监测要求
1. 排放口应设置在线监测设备，监测COD、BOD5、SS等污染物的浓度；
2. 监测设备应符合国家和地方相关标准，监测数据应实时传输至环保部门；
3. 监测数据应保存至少3年，以备查验。

四、处理要求
1. 半导体行业企业应制定污水处理方案，并报环保部门备案；
2. 污水处理设施应符合国家和地方相关标准，运行稳定，处理效果良好；
3. 污水处理设施应定期进行维护和检修，确保正常运行；
4. 处理后的污水应符合国家和地方相关标准，达到排放要求。

五、处罚规定
1. 对于违反本标准的企业，环保部门将依法进行处罚；
2. 对于造成环境污染和人民健康危害的企业，环保部门将依法追究其法律责任。

相关标准
1. GB 3096-2008《大气污染物排放标准》
2. GB 8978-1996《工业企业污染物排放标准》
3. GB 18918-2002《城市污水处理厂污染物排放标准》
4. HJ 535-2009《水污染物排放标准》
5. HJ 535-2019《水污染物排放标准》