衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻的无损测试是一种重要的测试方法，可以用于测量衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜的电阻值。本标准规定了一种无损测试方法，即四探针法。

四探针法是一种常用的电阻测量方法，它通过在被测物体表面放置四个电极，其中两个电极用于施加电压，另外两个电极用于测量电流，从而测量被测物体的电阻值。四探针法具有高精度、高灵敏度、无损测试等优点，因此被广泛应用于材料科学、电子工程、物理学等领域。

本标准规定了衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻的无损测试方法，主要包括以下步骤：

1. 准备测试样品。将待测样品切割成方形，边长为1mm，厚度为100nm至10μm之间。

2. 放置电极。在样品表面放置四个电极，其中两个电极用于施加电压，另外两个电极用于测量电流。电极之间的距离应小于样品厚度的10%。

3. 施加电压。在两个施加电压的电极之间施加电压，电压大小应根据样品的电阻值进行调整。

4. 测量电流。在两个测量电流的电极之间测量电流值，电流大小应根据样品的电阻值进行调整。

5. 计算电阻值。根据测量得到的电压和电流值，计算出样品的电阻值。

本标准适用于衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻的测量，可以用于材料科学、电子工程、物理学等领域。

相关标准
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- GB/T 3048.9-2014 电阻率和电导率的测量方法 第9部分：四探针法测量薄膜电阻率和电导率
- GB/T 3048.10-2014 电阻率和电导率的测量方法 第10部分：四探针法测量半导体材料电阻率和电导率
- GB/T 3048.11-2014 电阻率和电导率的测量方法 第11部分：四探针法测量导电聚合物薄膜电阻率和电导率
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