扫描电子显微镜是一种高分辨率的显微镜，广泛应用于材料科学、生物学、医学等领域。在使用扫描电子显微镜时，放大倍率的准确性对于获得高质量的图像和数据至关重要。因此，本标准制定了扫描电子显微镜放大倍率校准方法。

1. 校准前准备
1.1 校准前应检查扫描电子显微镜的电子束能量、电子束聚焦、扫描线圈电流等参数是否正常。
1.2 准备标准样品，标准样品应具有清晰的表面形貌和尺寸标准，例如金刚石刻线标准样品。
1.3 准备扫描电子显微镜的校准程序和软件。

2. 校准步骤
2.1 将标准样品放置在扫描电子显微镜的样品台上，并调整样品的位置和倾角，使其与电子束垂直。
2.2 启动扫描电子显微镜的校准程序和软件，选择放大倍率校准功能。
2.3 在校准程序中选择标准样品的尺寸和形状，并输入标准样品的实际尺寸。
2.4 开始校准，校准程序会自动扫描标准样品，并根据标准样品的尺寸和形状计算出放大倍率的准确值。
2.5 校准完成后，保存校准结果并退出校准程序。

3. 校准结果的判定
3.1 校准结果应与标准样品的实际尺寸相符合，误差应小于5%。
3.2 如果校准结果不符合要求，应重新进行校准。

4. 校准周期
4.1 扫描电子显微镜的放大倍率应每年进行一次校准。
4.2 如果扫描电子显微镜的使用频率较高，应根据实际情况适当缩短校准周期。

相关标准
GB/T 6394-2017 扫描电子显微镜术语
GB/T 18743-2015 扫描电子显微镜性能检验方法
GB/T 18744-2015 扫描电子显微镜操作规程
GB/T 18745-2015 扫描电子显微镜图像处理方法
GB/T 18746-2015 扫描电子显微镜数据处理方法