DB31/T 792-2014
硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额
发布时间:2014-04-15 实施时间:2014-08-01


硅单晶及其硅片是半导体材料的重要组成部分,其生产过程需要大量的能源消耗。为了减少能源消耗,提高能源利用效率,保护环境,本标准制定了硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额。

一、计算方法
硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额的计算方法如下:
能源消耗限额=能源消耗总量/产品产量
其中,能源消耗总量包括电力、燃气、蒸汽等能源消耗量。

二、要求
硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额应符合以下要求:
1. 电力消耗限额不得超过1.2万千瓦时/吨硅单晶或硅片;
2. 燃气消耗限额不得超过0.8立方米/吨硅单晶或硅片;
3. 蒸汽消耗限额不得超过0.5吨/吨硅单晶或硅片。

三、检测方法
硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额的检测方法如下:
1. 电力消耗量的检测应采用电表进行实时监测;
2. 燃气消耗量的检测应采用燃气表进行实时监测;
3. 蒸汽消耗量的检测应采用蒸汽表进行实时监测。

四、相关标准
1. GB/T 191-2008 确定和表示限额的方法
2. GB/T 2677.1-1995 单晶硅棒的尺寸和公差
3. GB/T 2677.2-1995 单晶硅棒的物理性能和化学性能试验方法
4. GB/T 2677.3-1995 单晶硅棒的外观和缺陷检验方法
5. GB/T 2677.4-1995 单晶硅棒的包装、标志和运输