随着信息技术的不断发展,集成电路作为信息产业的核心,已经成为现代社会不可或缺的基础设施。然而,集成电路的制造过程需要大量的能源消耗,对环境造成了一定的影响。为了促进集成电路晶圆制造单位节能减排,提高资源利用效率,保护环境,国家发布了DB31/ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额标准。
该标准主要包括以下内容:
1. 适用范围
本标准适用于集成电路晶圆制造单位的产品能源消耗限额计算、监测和评价。
2. 计算方法
集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额的计算方法包括两种:基准能耗法和综合能耗法。其中,基准能耗法是指以单位产品的能源消耗量为基准,计算单位产品能源消耗限额;综合能耗法是指以单位产值的能源消耗量为基准,计算单位产值能源消耗限额。
3. 监测方法
集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额的监测方法包括两种:定点监测和不定点监测。其中,定点监测是指在生产过程中选择关键环节进行监测,以确保能源消耗限额的达成;不定点监测是指在生产过程中对整个生产过程进行监测,以全面掌握能源消耗情况。
4. 评价方法
集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额的评价方法包括两种:内部评价和外部评价。其中,内部评价是指集成电路晶圆制造单位自行对能源消耗限额进行评价;外部评价是指由第三方机构对集成电路晶圆制造单位的能源消耗限额进行评价。
5. 其他要求
本标准还对集成电路晶圆制造单位的能源消耗限额管理、信息公开、监督检查等方面提出了要求。
相关标准
GB/T 31905-2015 集成电路制造过程能源消耗计量方法
GB/T 31906-2015 集成电路制造过程能源消耗计量数据管理规范
GB/T 31907-2015 集成电路制造过程能源消耗计量数据报告规范
GB/T 31908-2015 集成电路制造过程能源消耗计量数据审核规范
GB/T 31909-2015 集成电路制造过程能源消耗计量数据应用规范