DB22/T 2651-2017
数字式激光球面干涉仪校准规范
发布时间:2017-06-12 实施时间:2017-08-12
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数字式激光球面干涉仪是一种用于测量光学元件曲率半径、球心位置和球面误差的光学仪器。为了保证数字式激光球面干涉仪的测量精度和可靠性,需要对其进行校准。本标准规定了数字式激光球面干涉仪的校准方法和要求。
1. 校准前的准备工作
在进行数字式激光球面干涉仪的校准前,需要进行以下准备工作:
(1)检查数字式激光球面干涉仪的外观是否完好;
(2)检查数字式激光球面干涉仪的光路是否正常;
(3)检查数字式激光球面干涉仪的电气连接是否正确;
(4)检查数字式激光球面干涉仪的环境是否符合要求。
2. 校准方法
数字式激光球面干涉仪的校准方法包括以下步骤:
(1)调整数字式激光球面干涉仪的光路,使其符合要求;
(2)使用标准球面进行校准,校准时应保证标准球面的曲率半径和球心位置符合要求;
(3)根据校准结果进行调整,直到数字式激光球面干涉仪的测量精度符合要求。
3. 校准要求
数字式激光球面干涉仪的校准要求包括以下内容:
(1)校准后的数字式激光球面干涉仪的测量精度应符合要求;
(2)校准后的数字式激光球面干涉仪的测量误差应符合要求;
(3)校准后的数字式激光球面干涉仪的测量范围应符合要求;
(4)校准后的数字式激光球面干涉仪的稳定性应符合要求。
相关标准:
GB/T 19638-2019 数字式激光球面干涉仪
GB/T 19639-2019 数字式激光球面干涉仪测量误差的评定方法
GB/T 19640-2019 数字式激光球面干涉仪测量范围的评定方法
GB/T 19641-2019 数字式激光球面干涉仪稳定性的评定方法
GB/T 19642-2019 数字式激光球面干涉仪的使用和维护