MEMS惯性测量装置是一种基于微机电系统技术的惯性测量装置，具有体积小、重量轻、功耗低等优点，广泛应用于导航、航空航天、汽车、医疗等领域。为了保证MEMS惯性测量装置的性能和可靠性，需要对其进行电性能测试。

本标准主要包括静态电性能测试和动态电性能测试两部分。

1. 静态电性能测试

静态电性能测试主要包括以下内容：

1.1 静态电流测试

静态电流测试是指在不加任何外力的情况下，测量MEMS惯性测量装置的静态电流。测试时，需要将MEMS惯性测量装置连接到测试电路中，通过电流表测量其静态电流。

1.2 静态电压测试

静态电压测试是指在不加任何外力的情况下，测量MEMS惯性测量装置的静态电压。测试时，需要将MEMS惯性测量装置连接到测试电路中，通过电压表测量其静态电压。

1.3 静态电容测试

静态电容测试是指在不加任何外力的情况下，测量MEMS惯性测量装置的静态电容。测试时，需要将MEMS惯性测量装置连接到测试电路中，通过电容表测量其静态电容。

2. 动态电性能测试

动态电性能测试主要包括以下内容：

2.1 动态响应测试

动态响应测试是指在加速度或角速度等外力作用下，测量MEMS惯性测量装置的输出响应。测试时，需要将MEMS惯性测量装置连接到测试电路中，通过示波器等仪器测量其输出响应。

2.2 动态灵敏度测试

动态灵敏度测试是指在加速度或角速度等外力作用下，测量MEMS惯性测量装置的输出灵敏度。测试时，需要将MEMS惯性测量装置连接到测试电路中，通过示波器等仪器测量其输出灵敏度。

2.3 动态线性度测试

动态线性度测试是指在加速度或角速度等外力作用下，测量MEMS惯性测量装置的输出线性度。测试时，需要将MEMS惯性测量装置连接到测试电路中，通过示波器等仪器测量其输出线性度。

相关标准
GB/T 2423.1-2008 环境试验 第2部分：试验A：低温试验方法
GB/T 2423.2-2008 环境试验 第2部分：试验B：高温试验方法
GB/T 2423.10-2008 环境试验 第2部分：试验J：温度循环试验方法
GB/T 2423.22-2008 环境试验 第2部分：试验N：恒湿热试验方法
GB/T 2423.34-2005 环境试验 第2部分：试验Z/AD：振动（冲击）试验综合性能试验方法