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一、范围
本标准适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的生产。

二、规定
2.1 原材料
2.1.1 石英坩埚的原材料应为高纯度石英砂。
2.1.2 石英砂的主要化学成分应符合表1的要求。

表1 石英砂的主要化学成分

化学成分 质量分数/%
SiO2 ≥99.99
Al2O3 ≤0.02
Fe2O3 ≤0.001
CaO ≤0.001
MgO ≤0.001
Na2O ≤0.001
K2O ≤0.001
TiO2 ≤0.001
P2O5 ≤0.001

2.2 生产工艺
2.2.1 石英坩埚的生产应采用真空感应熔炼工艺。
2.2.2 熔炼温度应控制在1750℃~1800℃之间。
2.2.3 熔炼时间应控制在2~3小时之间。
2.2.4 熔炼后的坩埚应进行退火处理，退火温度应控制在1100℃~1200℃之间，时间应控制在10~20小时之间。
2.2.5 熔炼后的坩埚应进行表面处理，表面处理应采用化学蚀刻或机械加工等方法。

2.3 试验方法
2.3.1 石英坩埚的外观应无明显缺陷，如气泡、裂纹、砂眼等。
2.3.2 石英坩埚的尺寸应符合设计要求。
2.3.3 石英坩埚的化学成分应符合表1的要求。
2.3.4 石英坩埚的密度应符合设计要求。
2.3.5 石英坩埚的抗弯强度应符合设计要求。
2.3.6 石英坩埚的热膨胀系数应符合设计要求。
2.3.7 石英坩埚的热震稳定性应符合设计要求。

2.4 检验规则和标志
2.4.1 石英坩埚应按照设计要求进行检验。
2.4.2 石英坩埚应在包装上标明生产厂家、生产日期、规格型号等信息。

2.5 包装、运输、贮存
2.5.1 石英坩埚应采用防震包装，包装材料应符合国家标准。
2.5.2 石英坩埚应在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境下贮存。
2.5.3 石英坩埚应避免受到机械冲击和振动。

相关标准：
GB/T 19001-2016 质量管理体系要求
GB/T 19002-2016 质量管理体系审核指南
GB/T 19003-2016 质量管理体系第三方审核
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