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随着信息技术的不断发展,集成电路作为信息产业的核心,已经成为现代社会不可或缺的基础设施之一。然而,集成电路生产过程中需要大量的水资源,而水资源的短缺已经成为全球性的问题。因此,如何在保证集成电路生产质量的前提下,尽可能地减少用水量,成为了当前亟待解决的问题。
为了解决这一问题,国家标准化管理委员会制定了《用水定额》系列标准,其中第8部分是针对集成电路生产过程中的用水定额。该标准规定了集成电路生产过程中的用水定额计算方法、用水定额参数、用水定额计算示例等内容,旨在促进集成电路生产过程中的节水工作,提高水资源利用效率。
具体来说,该标准规定了以下内容:
1. 用水定额计算方法:该标准规定了用水定额的计算方法,包括用水定额计算公式、用水定额计算参数等。其中,用水定额计算公式是根据集成电路生产过程中的各个环节的用水量和用水质量等因素综合计算得出的。
2. 用水定额参数:该标准规定了集成电路生产过程中的各个环节的用水定额参数,包括晶圆清洗、化学机械抛光、光刻、蚀刻、清洗等环节。这些参数是根据实际生产情况和节水要求确定的。
3. 用水定额计算示例:该标准给出了用水定额计算的具体示例,以便生产企业能够更好地理解和应用该标准。
通过实施该标准,可以有效地降低集成电路生产过程中的用水量,提高水资源利用效率,从而实现节水减排的目标。同时,该标准还可以促进集成电路生产企业的技术创新和管理创新,提高企业的竞争力和可持续发展能力。
相关标准:
1. DB11/T 1764.1-2021 用水定额 第1部分:综述
2. DB11/T 1764.2-2021 用水定额 第2部分:钢铁冶炼
3. DB11/T 1764.3-2021 用水定额 第3部分:石油化工
4. DB11/T 1764.4-2021 用水定额 第4部分:纺织印染
5. DB11/T 1764.5-2021 用水定额 第5部分:造纸