质谱式泄漏检漏器是一种用于检测真空系统中泄漏的设备。它通过检测气体分子的质量和数量来确定泄漏的位置和大小。质谱式泄漏检漏器的准确性和可靠性对于真空技术的应用至关重要。因此，ISO 3530:1979标准规定了质谱式泄漏检漏器的校准方法和程序。

该标准要求使用标准气体进行校准。校准气体的选择应考虑到其化学性质、纯度和稳定性。校准气体的压力和流量应在校准过程中保持稳定。校准设备应具有足够的准确性和稳定性，以确保校准结果的可靠性。

校准程序包括以下步骤：
1. 将校准气体引入质谱式泄漏检漏器中，并使其达到稳定状态。
2. 记录质谱式泄漏检漏器的读数。
3. 改变校准气体的流量或压力，并记录质谱式泄漏检漏器的读数。
4. 重复步骤3，直到记录了足够的数据点。
5. 根据记录的数据点，计算质谱式泄漏检漏器的灵敏度和响应时间。
6. 根据计算结果，调整质谱式泄漏检漏器的灵敏度和响应时间，以确保其准确性和可靠性。

校准结果应记录并报告。记录应包括校准日期、校准气体的压力和流量、质谱式泄漏检漏器的读数和计算结果。报告应包括校准结果、校准设备的信息和校准程序的描述。

ISO 3530:1979标准的实施可以确保质谱式泄漏检漏器的准确性和可靠性，从而提高真空技术的应用效果。

相关标准
- ISO 21360-1:2019 真空技术-泄漏检漏器-第1部分：分类、设计和校准
- ISO 21360-2:2019 真空技术-泄漏检漏器-第2部分：试验方法
- ISO 16017-1:2001 空气质量-室内空气-第1部分：采样和分析
- ISO 16017-2:2003 空气质量-室内空气-第2部分：总挥发性有机化合物（TVOC）的采样和分析
- ISO 14644-1:2015 净化室和相关受控环境的分类