ISO 1608-1:1993标准规定了两种测量方法:流量测量和抽气速率测量。流量测量是指在一定的压力下,测量单位时间内泵出的气体体积。抽气速率测量是指在一定的压力下,泵出单位时间内的气体质量。这两种测量方法都需要使用标准气体,以确保测量结果的准确性和可比性。
在进行流量测量时,需要使用一个标准的流量计来测量泵出的气体体积。在进行抽气速率测量时,需要使用一个标准的质量流量计来测量泵出的气体质量。在进行测量之前,需要将蒸汽真空泵和测量设备预热至稳定状态,并保持一定的压力。
ISO 1608-1:1993标准还规定了测量结果的报告要求。测量结果应包括泵出的气体体积或质量、测量时间、压力和温度等参数。测量结果应以标准气体为基准进行校正,并应按照ISO 1608-2:1993标准中的要求进行不确定度评估。
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