ISO 17974:2002
Surface chemical analysis — High-resolution Auger electron spectrometers — Calibration of energy scales for elemental and chemical-state analysis
发布时间:2002-10-17 实施时间:


ISO 17974:2002标准是表面化学分析领域的重要标准之一,它规定了高分辨率俄歇电子光谱仪的能量刻度校准方法,以确保元素和化学状态分析的准确性和可重复性。高分辨率俄歇电子光谱仪是一种表面分析仪器,它可以通过测量材料表面的电子能谱来确定材料的元素组成和化学状态。在使用高分辨率俄歇电子光谱仪进行表面化学分析时,能量刻度校准是非常重要的,因为它直接影响到分析结果的准确性和可靠性。

ISO 17974:2002标准规定了高分辨率俄歇电子光谱仪的能量刻度校准方法,包括使用标准样品进行能量刻度校准、确定能量刻度校准曲线的方法、校准曲线的验证和校准结果的报告等。在进行能量刻度校准时,需要使用一系列标准样品,这些样品包括单元素样品、化合物样品和复合材料样品等。通过测量这些样品的电子能谱,可以确定高分辨率俄歇电子光谱仪的能量刻度校准曲线。在确定能量刻度校准曲线时,需要考虑到多种因素,如电子束的能量、电子束的入射角度、样品的表面形貌等。校准曲线的验证是为了确保校准曲线的准确性和可靠性,通常采用多种方法进行验证,如使用不同的标准样品进行校准、比较不同实验室的校准结果等。最后,需要将校准结果进行报告,包括校准曲线的参数、校准结果的误差范围等。

ISO 17974:2002标准的实施可以提高高分辨率俄歇电子光谱仪的分析准确性和可重复性,从而为表面化学分析提供更加可靠的数据支持。该标准适用于使用高分辨率俄歇电子光谱仪进行表面化学分析的实验室和机构,特别是在材料科学、化学、电子学等领域中广泛应用。

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