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随着空间技术的不断发展，空间系统的要求也越来越高。流体系统作为空间系统中的重要组成部分，其表面清洁度对于系统的正常运行和长期稳定性具有重要影响。因此，对于流体系统表面的非挥发性残留物和颗粒污染的分析程序也越来越重要。

ISO 14952-3:2003标准主要介绍了非挥发性残留物和颗粒污染的分析程序。标准中详细描述了分析程序的实施方法，包括样品采集、样品制备、分析方法和结果评估等方面。其中，样品采集是非常关键的一步，需要根据实际情况选择合适的采集方法和采集器具。样品制备方面，需要注意避免样品受到污染和损伤。分析方法方面，标准中提供了多种分析方法，包括红外光谱法、质谱法、离子色谱法等。结果评估方面，需要根据实际情况选择合适的评估方法和标准。

ISO 14952-3:2003标准适用于各种类型的流体系统，包括液体和气体系统。标准中还提供了一些特殊情况下的分析程序，如对于高温高压系统的分析程序等。该标准的实施可以有效地保证流体系统表面的清洁度，提高系统的可靠性和稳定性。

相关标准：
ISO 14952-1:2001 Space systems — Surface cleanliness of fluid systems — Part 1: General principles and requirements
ISO 14952-2:2003 Space systems — Surface cleanliness of fluid systems — Part 2: Verification of cleanliness requirements
ISO 14644-1:2015 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration
ISO 14644-2:2015 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods