ISO/TR 14999-3:2005
Optics and photonics — Interferometric measurement of optical elements and optical systems — Part 3: Calibration and validation of interferometric test equipment and measurements
发布时间:2005-03-16 实施时间:


干涉测量技术是一种非常重要的光学测量技术,广泛应用于光学元件和光学系统的制造和检测中。干涉测量技术的准确性和可靠性对于光学元件和光学系统的质量和性能至关重要。因此,干涉测试设备和测量的校准和验证是非常重要的。

ISO/TR 14999-3:2005主要介绍了干涉测试设备和测量的校准和验证的基本原理和方法。该标准首先介绍了干涉测量技术的基本原理和干涉仪的结构和工作原理。然后,该标准详细介绍了干涉测试设备和测量的校准和验证的基本步骤和方法,包括校准干涉仪的波长、干涉仪的分辨率、干涉仪的灵敏度、干涉仪的非线性误差等。此外,该标准还介绍了干涉测试设备和测量的不确定度评估方法和误差分析方法。

ISO/TR 14999-3:2005的主要目的是确保干涉测试设备和测量的准确性和可靠性,以提高光学元件和光学系统的质量和性能。该标准适用于干涉测量技术的校准和验证,包括干涉仪、干涉测试设备和测量系统等。该标准适用于光学元件和光学系统的制造和检测,以及光学测量技术的研究和开发。

总之,ISO/TR 14999-3:2005是一项非常重要的标准,它为干涉测试设备和测量的校准和验证提供了基本原理和方法,有助于提高光学元件和光学系统的质量和性能,推动光学测量技术的发展和应用。

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