X射线光电子能谱是一种表面化学分析技术,可以用于分析材料表面的元素组成、化学状态和电子结构等信息。在XPS分析中,样品表面被照射一束高能X射线,激发出表面原子的光电子,这些光电子的能量和数量可以用来确定样品表面的元素组成和化学状态。XPS分析的结果通常以强度比例的形式呈现,即不同元素的光电子峰强度之比。因此,强度比例的重复性和恒定性对于XPS分析的准确性和可靠性至关重要。
ISO 24237:2005标准规定了强度比例的重复性和恒定性的测试方法。该标准要求在相同的实验条件下,对同一样品进行多次测量,以评估强度比例的重复性。同时,该标准还要求在不同的实验条件下,对同一样品进行测量,以评估强度比例的恒定性。这些实验条件包括X射线源的不同、分辨率的不同、分析区域的不同等。
ISO 24237:2005标准还规定了强度比例的误差限。根据该标准,对于同一样品的多次测量,强度比例的标准偏差应小于5%。对于不同实验条件下的测量,强度比例的误差限应小于10%。
该标准的实施可以提高XPS分析的准确性和可靠性,保证分析结果的可重复性和可比性。同时,该标准还可以帮助实验室和研究机构评估XPS分析的仪器性能和实验条件,为XPS分析提供更加科学的基础。
相关标准
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ISO 18115-3:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱——第3部分:数据解释
ISO 18115-4:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱——第4部分:数据质量保证