ISO/TR 22335:2007标准中，使用了一种称为网格复制法的方法来测量材料表面的溅射速率。该方法需要使用机械式探针仪，该仪器可以在材料表面上移动，并记录下每个位置的高度。然后，使用一种称为网格复制的技术，将材料表面的形貌复制到一个金属网格上。通过比较金属网格和原始材料表面的高度差异，可以计算出材料表面的溅射速率。

该标准中还介绍了一些关于机械式探针仪的要求。例如，探针仪的分辨率应该足够高，以便能够准确地记录下每个位置的高度。此外，探针仪的稳定性也非常重要，因为任何振动或移动都可能导致高度测量的误差。

除了介绍测量方法外，该标准还提供了一些关于数据分析的指导。例如，如何使用测量结果来计算材料的化学成分和结构特征。此外，该标准还介绍了一些可能影响测量结果的因素，例如材料表面的形貌和化学成分，以及机械式探针仪的性能。

总的来说，ISO/TR 22335:2007标准提供了一种可靠的方法，以测量材料表面的溅射速率，并确定材料的化学成分和结构特征。该标准适用于需要进行深度剖析的材料，例如涂层、薄膜和表面处理材料。

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