ISO/TR 16268:2009
Surface chemical analysis — Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation
发布时间:2009-09-24 实施时间:


ISO/TR 16268:2009是一项建议程序,旨在为离子注入工作参考材料中保留面积剂量认证提供指导。该标准适用于表面化学分析领域,旨在确保工作参考材料的质量和可靠性。离子注入是一种常用的表面改性技术,可用于制备工作参考材料。离子注入工作参考材料是表面化学分析中的重要参考材料,用于校准仪器和评估分析方法的准确性和可靠性。因此,保证离子注入工作参考材料的质量和可靠性对于表面化学分析领域至关重要。

该标准提供了一种可靠的方法,用于确定离子注入工作参考材料中保留的面积剂量,并建议使用该方法进行认证。该方法基于离子注入的物理原理和表面化学分析的实践经验,通过测量离子注入工作参考材料中保留的面积剂量,来评估工作参考材料的质量和可靠性。该方法包括以下步骤:

1.选择合适的离子注入工作参考材料,并确定其表面化学分析性能。

2.确定离子注入工作参考材料中保留的面积剂量的测量方法和仪器。

3.进行离子注入工作参考材料中保留的面积剂量的测量,并计算出保留的面积剂量。

4.使用保留的面积剂量来认证离子注入工作参考材料的质量和可靠性。

该标准还提供了一些实用的建议,用于优化离子注入工作参考材料的制备和测量方法,以提高工作参考材料的质量和可靠性。这些建议包括:

1.选择合适的离子注入参数,以确保工作参考材料中保留的面积剂量符合要求。

2.使用合适的测量方法和仪器,以确保测量结果的准确性和可靠性。

3.定期检查离子注入工作参考材料的质量和可靠性,并进行必要的维护和校准。

总之,ISO/TR 16268:2009为离子注入工作参考材料中保留面积剂量认证提供了一种可靠的方法和实用的建议,有助于提高工作参考材料的质量和可靠性,从而提高表面化学分析的准确性和可靠性。

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