ISO 27894:2009
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications for hot cathode ionization gauges
发布时间:2009-11-30 实施时间:


热阴极电离计是一种常用的真空计,广泛应用于真空技术领域。它通过测量气体分子在电场中的离子化程度来确定真空度,具有灵敏度高、测量范围广、响应速度快等优点。为了保证热阴极电离计的质量和可靠性,ISO 27894:2009规定了以下技术要求和性能指标:

1. 热阴极电离计的测量范围应在10^-10 Pa至10^-2 Pa之间,且应具有良好的线性度和重复性。

2. 热阴极电离计的灵敏度应不小于10^-4 A/Pa,且应具有良好的稳定性和抗干扰能力。

3. 热阴极电离计的响应时间应不大于1秒,且应具有良好的动态特性和抗振动能力。

4. 热阴极电离计的温度应控制在800℃至1200℃之间,且应具有良好的耐热性和寿命。

5. 热阴极电离计的电源应稳定可靠,且应具有过载保护和短路保护等功能。

此外,ISO 27894:2009还规定了热阴极电离计的测试方法、标记和包装等方面的内容。其中,测试方法包括静态测试和动态测试两种,静态测试用于测量热阴极电离计的灵敏度和线性度,动态测试用于测量热阴极电离计的响应时间和动态特性。标记和包装方面,ISO 27894:2009规定了热阴极电离计应标注的信息和包装要求,以确保热阴极电离计在运输和存储过程中不受损坏。

总之,ISO 27894:2009是一份非常重要的国际标准,它规定了热阴极电离计的技术要求、性能指标、测试方法、标记和包装等方面的内容,为真空技术的应用提供了重要的保障。

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