近场光学显微镜（NSOM）是一种高分辨率的表面化学分析技术，可以实现纳米级别的成像和分析。NSOM的横向分辨率是NSOM成像中最小可分辨的两个点之间的距离，是NSOM成像结果的重要参数之一。为了确保NSOM成像结果的准确性和可重复性，ISO 27911:2011标准规定了NSOM的横向分辨率的定义和校准方法。

ISO 27911:2011标准规定了NSOM的横向分辨率的定义为最小可分辨的两个点之间的距离。该标准还规定了NSOM横向分辨率的校准方法，包括使用标准样品和校准图像等。使用标准样品进行校准时，应选择具有已知尺寸和形状的样品，并使用显微镜或扫描电子显微镜等其他高分辨率成像技术进行验证。使用校准图像进行校准时，应选择具有已知尺寸和形状的图案，并使用其他高分辨率成像技术进行验证。

此外，该标准还规定了NSOM横向分辨率的测量方法和数据处理方法。在测量NSOM横向分辨率时，应选择具有高反射率和高对比度的样品，并使用高分辨率的扫描探针进行成像。在数据处理方面，应使用适当的算法和软件对NSOM成像结果进行处理，以消除噪声和其他干扰因素，从而获得准确的横向分辨率数据。

ISO 27911:2011标准的实施可以确保NSOM成像结果的准确性和可重复性，为表面化学分析提供了重要的技术支持。

相关标准
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