扫描探针显微镜（SPM）是一种高分辨率的表面分析技术，可以用于表面形貌和表面化学分析。SPM通过探针与样品表面的相互作用来获取表面信息，因此其测量结果受到许多因素的影响，如温度、湿度、机械振动等。其中，漂移率是影响SPM测量精度的重要因素之一。

漂移率是指SPM探针在扫描过程中的位置漂移速率。由于SPM探针与样品表面的相互作用是非接触的，因此探针位置的微小变化可能会导致测量结果的偏差。为了保证SPM测量结果的准确性和可重复性，需要对漂移率进行测量和控制。

ISO 11039:2012标准规定了使用SPM测量漂移率的方法。该标准适用于使用SPM进行表面形貌和表面化学分析的实验室和工业应用。该标准规定了漂移率的测量方法和数据分析方法，以确保SPM测量结果的准确性和可重复性。

漂移率的测量方法包括两种：一种是使用参考样品进行漂移率校准，另一种是使用SPM探针自身进行漂移率测量。在进行漂移率校准时，需要使用具有稳定表面的参考样品，如金属或石英。通过对参考样品进行扫描，可以测量出SPM探针在扫描过程中的位置漂移速率。在进行漂移率测量时，可以使用SPM探针自身进行测量。通过对样品表面进行扫描，可以测量出SPM探针在扫描过程中的位置漂移速率。

漂移率的数据分析方法包括两种：一种是使用线性回归方法对漂移率进行拟合，另一种是使用平均值法对漂移率进行计算。在使用线性回归方法进行数据分析时，需要对漂移率进行多次测量，并将测量结果进行拟合，以确定漂移率的变化趋势。在使用平均值法进行数据分析时，需要对漂移率进行多次测量，并将测量结果进行平均，以确定漂移率的平均值。

总之，ISO 11039:2012标准规定了使用SPM测量漂移率的方法和数据分析方法，以确保SPM测量结果的准确性和可重复性。该标准适用于使用SPM进行表面形貌和表面化学分析的实验室和工业应用。

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