ISO 14644-8:2013标准是ISO 14644系列标准的一部分,该系列标准规定了洁净室和相关受控环境的设计、建设、运行和监测要求。ISO 14644-8:2013标准主要针对需要控制化学污染物的洁净室和相关受控环境,通过化学浓度(ACC)对空气洁净度进行分类。
化学污染物是指在洁净室和相关受控环境中可能存在的气态、液态或固态的化学物质,包括有害气体、挥发性有机化合物、颗粒物、微生物等。这些化学污染物可能对产品质量、工作人员健康和环境造成危害,因此需要对其进行控制。
ISO 14644-8:2013标准规定了化学浓度的计算方法和分类标准。化学浓度是指在空气中存在的化学污染物的浓度,通常以体积浓度或质量浓度表示。标准规定了不同化学污染物的计算方法和限值,以及不同洁净度等级对应的化学浓度限制。
ISO 14644-8:2013标准还规定了对空气洁净度分类结果的解释和使用。洁净度等级越高,化学浓度限制越严格,对化学污染物的控制要求也越高。洁净度等级的选择应根据具体应用要求和风险评估结果进行,同时应考虑洁净室和相关受控环境的设计、建设、运行和监测能力。
ISO 14644-8:2013标准的实施可以帮助洁净室和相关受控环境的使用者和管理者更好地控制化学污染物,保证产品质量、工作人员健康和环境安全。
相关标准
- ISO 14644-1:2015 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness
- ISO 14644-2:2015 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
- ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
- ISO 14644-4:2001 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 4: Design, construction and start-up
- ISO 14644-5:2004 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 5: Operations