ISO 14644-10:2013标准的主要目的是提供一种基于表面上化学物质浓度的表面清洁度分类方法。该标准适用于需要控制表面化学物质浓度的应用，例如半导体制造、生物制药和医疗器械制造等领域。该标准的分类方法基于表面上化学物质的浓度，而不是基于颗粒物的数量或大小。

该标准定义了三个不同的表面清洁度等级：A、B和C。每个等级都有一个特定的化学物质浓度限制。等级A表示表面上化学物质的浓度最低，等级C表示表面上化学物质的浓度最高。这些等级的定义如下：

- 等级A：表面上化学物质的浓度不得超过1/10的MAC（最大容许浓度）。
- 等级B：表面上化学物质的浓度不得超过1/3的MAC。
- 等级C：表面上化学物质的浓度不得超过MAC。

该标准还提供了一些关于如何采样和测试表面化学物质浓度的指导。例如，该标准建议使用化学分析方法来测量表面上化学物质的浓度。此外，该标准还提供了一些关于如何选择适当的化学分析方法的指导。

ISO 14644-10:2013标准的实施可以帮助制造商和用户确保他们的产品和过程符合特定的表面清洁度要求。此外，该标准还可以帮助制造商和用户确定适当的清洁程序和清洁剂，以确保表面上化学物质的浓度符合要求。

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