电子探针显微分析（EPMA）是一种常用的微束分析技术，它利用电子束与样品相互作用的特性，通过测量样品中的元素组成和分布来研究材料的性质和结构。EPMA技术在材料科学、地球科学、生命科学等领域都有广泛的应用。

然而，由于不同实验室和研究机构之间使用的术语和定义可能存在差异，因此在进行交流和合作时可能会出现理解上的困难。为了解决这个问题，ISO 23833:2013标准提供了一个标准化的术语表，以便在不同的实验室和研究机构之间进行交流和合作。

该标准定义了与EPMA相关的术语和定义，包括仪器和设备、样品制备、数据处理和分析等方面。例如，该标准定义了以下术语：

- 电子束：指在EPMA中用于与样品相互作用的电子束。
- 能量分散X射线谱仪（EDS）：一种用于测量样品中元素组成的仪器。
- 样品表面：指样品的表面，通常是指样品与电子束相交的表面。
- 能量分辨率：指EDS测量中能够分辨两个能量峰之间的最小能量差。

此外，该标准还提供了一些常见的缩写词和符号的解释，例如“WDS”表示波谱荧光分析仪，“SEM”表示扫描电子显微镜等。

标准化的术语表不仅可以提高不同实验室和研究机构之间的交流和合作效率，还可以减少误解和错误的发生。因此，ISO 23833:2013标准对于EPMA技术的发展和应用具有重要的意义。

相关标准
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- ISO 22310:2017 Microbeam analysis — Transmission electron microscopy — Vocabulary
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- ISO 22312:2017 Microbeam analysis — Atom probe microscopy — Vocabulary
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