表面纹理是指物体表面的微观形貌特征，包括高度、间距、形状等。表面纹理对于许多工程应用至关重要，例如润滑、密封、接触等。因此，表面纹理的测量和分析是一项重要的任务。传统的表面粗糙度测量方法包括触针式和光学式，但这些方法都存在一些局限性，例如对于非平面表面的测量效果不佳，易受到环境干扰等。相比之下，非接触式仪器具有测量速度快、精度高、适用范围广等优点，因此在表面纹理测量中得到了广泛应用。

ISO 25178-604:2013是一项关于非接触式仪器的表面纹理标准，主要针对相干扫描干涉仪。相干扫描干涉仪是一种基于光学干涉原理的表面纹理测量仪器，可以实现高精度、高分辨率的表面形貌测量。该标准规定了相干扫描干涉仪的标称特性，包括测量范围、分辨率、重复性、线性度、灵敏度等。这些特性是评价仪器性能的重要指标，也是保证测量结果准确可靠的基础。

除了标称特性，ISO 25178-604:2013还规定了测量结果的表示方法和报告要求。测量结果应该以数字高程模型（Digital Elevation Model，DEM）的形式呈现，其中每个数据点都包含了表面高度信息。DEM数据可以用于表面形貌分析、表面缺陷检测、表面加工质量评估等方面。此外，标准还规定了测量报告的内容和格式，包括测量条件、测量结果、不确定度评估等。

总之，ISO 25178-604:2013是一项重要的表面纹理标准，为非接触式仪器的标准化提供了指导。该标准规定了相干扫描干涉仪的标称特性和测量结果的表示方法和报告要求，有助于保证表面纹理测量结果的准确性和可靠性。

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