ISO 13424:2013
Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Reporting of results of thin-film analysis
发布时间:2013-09-23 实施时间:


ISO 13424:2013标准规定了薄膜分析结果报告的内容和格式,以确保分析结果的准确性和可比性。该标准要求报告中必须包含以下内容:

1. 样品信息:包括样品名称、编号、来源、制备方法、尺寸和形状等信息。

2. 分析条件:包括XPS仪器型号、光源类型、分辨率、能量校准、分析区域和深度等信息。

3. 分析结果:包括元素组成、化学状态、表面含量、深度分布和峰形等信息。

4. 数据处理:包括数据校正、背景扣除、峰拟合和峰面积计算等信息。

5. 结果讨论:包括对分析结果的解释、比较和评价等信息。

6. 结论:包括对样品的表面化学性质和结构特征的总结和归纳等信息。

除了上述内容,ISO 13424:2013还要求报告中必须包含以下信息:

1. 分析结果的误差范围和可靠性评价。

2. 分析结果的单位和精度要求。

3. 分析结果的图表和数据格式要求。

4. 分析结果的参考文献和数据存档要求。

5. 分析结果的保密性和知识产权要求。

总之,ISO 13424:2013标准规定了薄膜分析结果报告的内容和格式,以确保分析结果的准确性和可比性。该标准适用于各种类型的薄膜,包括金属、半导体、绝缘体和有机材料等。

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