表面纹理是指物体表面的微观形貌，通常包括表面粗糙度、波状度、轮廓度等参数。表面纹理对于许多工业产品的性能和质量具有重要影响，如机械零件的摩擦、磨损、密封等特性，电子元器件的接触、散热等特性，光学元件的反射、透射等特性等。因此，表面纹理的测量和评价是工业生产中必不可少的环节。

传统的表面纹理测量方法主要包括触针式测量、光学式测量和电容式测量等。这些方法虽然可以获得表面纹理的一些参数，但存在一些缺陷，如易受到表面污染、磨损等因素的影响，测量精度和重复性较低等。随着非接触式相移干涉显微镜（PSI）技术的发展，表面纹理的三维形貌测量得到了很大的提高。

ISO 25178-603:2013标准规定了非接触式相移干涉显微镜测量表面纹理的标准要求。该标准主要包括以下内容：

1.测量原理：非接触式相移干涉显微镜是一种基于光学干涉原理的测量方法，通过测量光波的相位差来获得表面高度信息。该标准详细介绍了PSI测量原理及其优缺点。

2.测量范围：PSI测量的表面高度范围通常为几纳米至几百微米，该标准规定了PSI测量的最大和最小测量范围。

3.测量精度：PSI测量的精度受到多种因素的影响，如光源稳定性、相机分辨率、环境温度等。该标准规定了PSI测量的最小测量精度。

4.测量不确定度：PSI测量的不确定度包括系统误差和随机误差两部分，该标准规定了PSI测量的最大不确定度。

5.测量参数：PSI测量可以获得多种表面纹理参数，如表面粗糙度、波状度、轮廓度等。该标准列举了常用的表面纹理参数及其定义。

该标准的发布，对于表面纹理的测量和评价具有重要意义。它可以帮助工业生产中的企业和机构选择合适的PSI测量仪器，保证表面纹理测量的准确性和可靠性，提高产品的质量和性能。

相关标准
ISO 25178-2:2012 表面纹理：三维形貌测量方法
ISO 4287:1997 表面纹理：轮廓法测量方法
ISO 13565-2:1996 表面纹理：过滤法测量方法
ISO 16610-31:2016 表面纹理：过滤法测量参数
ISO 16610-50:2012 表面纹理：三维形貌参数