ISO 17862:2013
Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Linearity of intensity scale in single ion counting time-of-flight mass analysers
发布时间：2013-12-10 实施时间：


ISO 17862:2013标准是针对表面化学分析中使用次级离子质谱技术的一项标准。次级离子质谱是一种表面化学分析技术，可以用于分析材料表面的化学成分和结构。该技术通过将高能离子轰击样品表面，产生次级离子，并通过质谱仪进行分析。单离子计数飞行时间质谱分析仪是次级离子质谱分析中常用的一种仪器。

在次级离子质谱分析中，强度比例尺的线性度是一个重要的参数。强度比例尺是指质谱仪中离子信号的强度与离子数量的关系。强度比例尺的线性度越好，质谱仪的分析结果就越准确。因此，ISO 17862:2013标准规定了使用单离子计数飞行时间质谱分析仪进行次级离子质谱分析时，强度比例尺的线性度的测量方法和评价方法。

该标准要求在测量强度比例尺的线性度时，需要使用标准样品进行校准。标准样品应该具有已知的化学成分和结构，并且应该与待测样品具有相似的性质。在测量过程中，需要记录离子信号的强度和离子数量，并绘制强度比例尺曲线。通过对比标准样品和待测样品的强度比例尺曲线，可以评价质谱仪的强度比例尺的线性度。

ISO 17862:2013标准的实施可以提高次级离子质谱分析的准确性和可靠性，对于表面化学分析领域的研究和应用具有重要意义。

相关标准
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