ISO 3529-3:2014
Vacuum technology — Vocabulary — Part 3: Total and partial pressure vacuum gauges
发布时间:2014-04-10 实施时间:


真空技术是一门涉及到真空环境下的物理、化学和工程学科,广泛应用于半导体、光学、航空航天、医疗等领域。在真空技术中,真空计是一种用于测量真空度的仪器,其中全压力和部分压力真空计是最常用的两种。

全压力真空计是一种用于测量真空环境中所有气体分子总压力的仪器,包括真空环境中的气体、水蒸气和其他挥发性物质。而部分压力真空计则是一种用于测量真空环境中某种特定气体分子的压力的仪器,通常用于测量真空环境中的气体成分。

ISO 3529-3:2014为全压力和部分压力真空计的术语和定义提供了一个统一的标准。其中包括了各种真空计的名称、测量原理、测量范围、精度等方面的术语和定义。例如,该标准定义了全压力真空计的测量范围为10^-5 Pa至10^5 Pa,而部分压力真空计的测量范围则取决于所测量的气体种类。

此外,该标准还涉及到了一些与真空计相关的术语和定义,例如真空度、真空泵、真空系统等。这些术语和定义对于理解和使用真空计以及进行真空技术研究和应用都非常重要。

总之,ISO 3529-3:2014为真空技术领域的专业人员提供了一个统一的术语标准,有助于在国际交流和合作中更好地理解和使用相关术语。同时,该标准也为真空计的制造商和用户提供了一个参考,有助于确保真空计的精度和可靠性。

相关标准
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