原子力显微镜（AFM）是一种用于表征材料表面形貌和力学性质的重要工具。AFM探针是AFM的核心部件，其性能直接影响到测量结果的准确性和可靠性。探针柄剖面是探针的一个重要参数，它决定了探针的刚度和灵敏度。因此，探针柄剖面的准确性和可重复性对于纳米结构测量至关重要。

ISO 13095:2014标准规定了一种用于原子力显微镜探针柄剖面原位表征的程序。该程序要求在探针柄剖面表征之前，必须对AFM探针进行校准。校准过程包括对探针的刚度和灵敏度进行测量，并根据测量结果进行调整。校准后，可以进行探针柄剖面的表征。

探针柄剖面的表征需要使用扫描探针显微镜（SPM）模式。在SPM模式下，探针在样品表面扫描，同时记录探针的位移和力信号。通过分析位移和力信号，可以确定探针柄剖面的形状和尺寸。探针柄剖面的表征应该在不同位置进行多次重复，以确保结果的可靠性和准确性。

ISO 13095:2014标准还规定了探针柄剖面表征结果的报告要求。报告应包括探针柄剖面的形状和尺寸，以及表征过程中使用的参数和方法。报告还应包括探针柄剖面表征结果的不确定度估计。

通过ISO 13095:2014标准规定的探针柄剖面表征程序，可以确保探针柄剖面的准确性和可重复性，提高纳米结构测量的精度和可靠性。该标准适用于各种类型的AFM探针，包括硅基和非硅基探针。

相关标准
- ISO 14644-1:2015 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration
- ISO 14644-2:2015 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
- ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods
- ISO 14644-4:2001 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 4: Design, construction and start-up
- ISO 14644-5:2004 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations