ISO 17109:2015标准是一项表面化学分析的标准，主要用于深度剖析中的溅射速率测定。深度剖析是一种分析技术，用于研究材料的表面和内部结构。该技术可以通过剥离材料表面的原子或分子来揭示材料的内部结构。深度剖析技术包括X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱等。

在深度剖析过程中，溅射速率是一个非常重要的参数。溅射速率是指在深度剖析过程中，材料表面被剥离的原子或分子的速率。溅射速率的准确测定对于深度剖析的准确性和可重复性非常重要。因此，ISO 17109:2015标准规定了一种准确、可重复的方法来测定溅射速率。

该标准适用于需要进行深度剖析的材料，例如涂层、薄膜、表面修饰层等。该标准的主要内容包括以下几个方面：

1. 实验条件的规定：该标准规定了实验条件，包括溅射离子束的能量、角度和流量等。

2. 样品制备：该标准规定了样品制备的方法，包括样品的清洗、处理和制备等。

3. 实验过程：该标准规定了实验过程，包括溅射速率的测定、深度剖析的过程和数据处理等。

4. 结果的报告：该标准规定了结果的报告要求，包括溅射速率的测定结果、深度剖析的结果和数据处理的结果等。

总之，ISO 17109:2015标准提供了一种准确、可重复的方法来测定溅射速率，以便在深度剖析过程中进行校准和控制。该标准的应用可以提高深度剖析的准确性和可重复性，为材料研究和工业生产提供了重要的支持。

相关标准
- ISO 14644-1:2015 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration
- ISO 14644-2:2015 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
- ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods
- ISO 14644-4:2001 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 4: Design, construction and start-up
- ISO 14644-5:2004 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations