ISO 13083:2015
Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
发布时间：2015-08-20 实施时间：
扫描探针显微镜是一种高分辨率的显微镜，可以用于研究材料的表面形貌和化学成分。其中，电子扫描探针显微镜是一种常用的扫描探针显微镜，可以用于2D掺杂成像等应用。然而，ESPMs的空间分辨率的定义和校准一直是一个难题，因为它们受到许多因素的影响，如探针形状、探针尺寸、样品表面形貌等。
为了解决这个问题，ISO 13083:2015标准规定了ESPMs的空间分辨率的定义和校准方法。该标准要求使用标准样品进行校准，以确保ESPMs的准确性和可靠性。标准还规定了ESPMs的空间分辨率的计算方法，以及如何评估ESPMs的性能。
ISO 13083:2015标准的实施可以提高ESPMs的空间分辨率的准确性和可靠性，从而提高材料表面形貌和化学成分的研究精度。此外，该标准还可以促进ESPMs的标准化和互操作性，从而促进ESPMs的应用和发展。
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