扫描探针显微镜（SPM）是一种用于表面形貌和力学性质测量的高分辨率显微镜。SPM通过在样品表面扫描探针来测量样品表面的形貌和力学性质。在SPM中，悬臂弹簧是一种常用的探针，它通过测量悬臂弹簧的振动频率和振幅来测量样品表面的力学性质。悬臂弹簧常数是悬臂弹簧的一个重要参数，它决定了悬臂弹簧的振动频率和振幅，从而影响了测量结果的准确性和可重复性。

ISO 11775:2015标准规定了使用SPM测定悬臂弹簧常数的方法。该标准要求在测量前对悬臂弹簧进行校准，以确保测量结果的准确性和可重复性。校准方法包括使用光学显微镜测量悬臂弹簧的几何参数和使用力学测试仪测量悬臂弹簧的弹性模量。在测量过程中，需要控制悬臂弹簧的振动频率和振幅，以确保测量结果的准确性和可重复性。该标准还规定了测量结果的报告要求，包括测量条件、测量结果和不确定度等。

ISO 11775:2015标准适用于使用SPM进行表面形貌和力学性质测量的实验室和工业应用。该标准的目的是确保测量结果的准确性和可重复性，从而提高SPM测量的可靠性和精度。

相关标准
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- ISO 14644-2:2015 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
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