ISO 14644-1:2015标准主要基于空气中的固体颗粒物浓度来对洁净室和受控环境进行分类。该标准定义了不同级别的洁净度,从ISO Class 1到ISO Class 9,其中ISO Class 1表示空气中的固体颗粒物浓度最低,ISO Class 9表示空气中的固体颗粒物浓度最高。每个级别都有特定的粒子浓度限制,以确保空气质量符合特定的要求。
除了粒子浓度限制外,该标准还规定了其他一些要求,例如空气流速、空气交换率、温度、湿度等。这些要求可以根据具体的应用进行调整,以确保洁净室和受控环境中的空气质量符合特定的要求。
该标准还规定了洁净室和受控环境的验证方法,以确保它们符合特定的要求。验证方法包括粒子计数、空气流速、空气交换率、温度、湿度等参数的测量。验证应该在洁净室和受控环境建成后进行,并定期进行验证以确保它们的性能符合要求。
该标准还包括了一些术语和定义,以确保不同的用户和供应商之间的沟通和理解。这些术语和定义包括洁净室、受控环境、粒子、粒子计数器等。
总之,ISO 14644-1:2015标准是一个非常重要的标准,它为洁净室和受控环境的设计、建设、验证和维护提供了指导。通过遵循该标准,可以确保洁净室和受控环境中的空气质量符合特定的要求,以保证产品的质量和安全性。
相关标准
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ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
ISO 14644-4:2001 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 4: Design, construction and start-up
ISO 14644-5:2004 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 5: Operations
ISO 14644-6:2007 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6: Vocabulary