ISO 17973:2016标准是表面化学分析领域的重要标准之一，它规定了中分辨率俄歇电子能谱仪的元素分析能量标度校准方法。中分辨率俄歇电子能谱仪是一种常用的表面化学分析仪器，它可以用来分析材料表面的元素成分和化学状态。在进行元素分析之前，必须对能量标度进行校准，以确保分析结果的准确性和可靠性。

能量标度校准是中分辨率俄歇电子能谱仪元素分析的重要步骤。校准过程中需要使用标准样品，通过比较标准样品的能谱和已知元素的能谱，来确定能量标度的准确性。标准样品应该具有已知的元素成分和化学状态，并且能够在中分辨率俄歇电子能谱仪中产生清晰的能谱。校准过程中需要对标准样品进行多次扫描，以获得稳定的能谱数据。校准后，才能进行元素分析。

ISO 17973:2016标准的实施可以提高中分辨率俄歇电子能谱仪元素分析的准确性和可靠性。该标准适用于使用中分辨率俄歇电子能谱仪进行表面化学分析的实验室和机构。在实际应用中，还需要根据具体的实验条件和要求进行相应的调整和优化。

相关标准
ISO 18115-1:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱仪——第1部分：能量标度校准
ISO 18115-2:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱仪——第2部分：能量分辨率校准
ISO 18115-3:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱仪——第3部分：灵敏度校准
ISO 18115-4:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱仪——第4部分：能量刻度稳定性校准
ISO 18115-5:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱仪——第5部分：能量分辨率稳定性校准