表面化学分析是一种重要的分析技术，广泛应用于材料科学、化学、生物学等领域。俄歇电子能谱（AES）是表面化学分析中常用的一种技术，可以用于分析材料表面的元素成分、化学键状态、表面形貌等信息。然而，AES实验结果的准确性和可重复性受到仪器性能参数的影响，因此需要制定相应的标准来规范仪器性能参数的测量和评估。

ISO 15471:2016标准主要描述了AES的选定仪器性能参数，包括分辨率、检测限、信噪比、能量刻度和能量分辨率等。这些参数对于AES实验结果的准确性和可重复性至关重要，因此需要进行详细的定义和描述。例如，分辨率是指仪器在测量过程中能够分辨出两个相邻峰的能量差，分辨率越高，能够分辨的峰就越多，从而提高实验结果的准确性。检测限是指仪器能够检测到的最小信号强度，检测限越低，能够检测到的元素种类就越多，从而提高实验结果的可靠性。

ISO 15471:2016标准还规定了仪器性能参数的测量方法和评估方法。例如，为了测量分辨率，可以使用标准样品进行校准，然后使用不同参数进行测试，最终得出分辨率的测量结果。为了评估检测限，可以使用标准样品进行测试，然后根据信噪比计算出检测限的值。这些测量和评估方法可以确保仪器性能参数的准确性和可靠性。

最后，ISO 15471:2016标准还规定了仪器性能参数的报告要求。在实验报告中，需要详细描述仪器性能参数的测量结果和评估结果，以便其他研究人员能够了解实验的可靠性和准确性。这些报告要求可以促进实验结果的共享和交流，从而推动表面化学分析技术的发展和应用。

相关标准
ISO 18115-1:2016 表面化学分析-扫描电子显微镜/能谱仪（SEM/EDS）-第1部分：SEM性能参数的描述和测量方法
ISO 18115-2:2016 表面化学分析-扫描电子显微镜/能谱仪（SEM/EDS）-第2部分：EDS性能参数的描述和测量方法
ISO 18115-3:2016 表面化学分析-扫描电子显微镜/能谱仪（SEM/EDS）-第3部分：SEM/EDS联用性能参数的描述和测量方法
ISO 18115-4:2016 表面化学分析-扫描电子显微镜/能谱仪（SEM/EDS）-第4部分：SEM/EDS联用实验的报告要求
ISO 18115-5:2016 表面化学分析-扫描电子显微镜/能谱仪（SEM/EDS）-第5部分：SEM/EDS联用实验的数据处理方法