ISO 14644-14:2016
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
发布时间:2016-09-14 实施时间:


ISO 14644-14:2016标准的主要目的是确保设备在洁净室和相关受控环境中的适用性。这项标准规定了通过空气中颗粒物浓度评估设备适用性的方法和程序。这些程序包括设备的分类、测试方法、数据分析和报告要求。

该标准要求对设备进行分类,以确定其在洁净室和相关受控环境中的适用性。设备分类的方法包括使用颗粒物计数器和颗粒物发生器。设备分类的结果应该与洁净室和相关受控环境的等级相匹配。

该标准还规定了测试方法,包括使用颗粒物计数器和颗粒物发生器。测试应该在洁净室和相关受控环境中进行,并应该在设备正常使用条件下进行。测试结果应该与设备分类结果相匹配。

数据分析是评估设备适用性的重要步骤。该标准规定了数据分析的方法,包括计算颗粒物浓度、计算颗粒物浓度的不确定度和确定设备适用性的标准。数据分析的结果应该与洁净室和相关受控环境的等级相匹配。

最后,该标准规定了报告要求。报告应该包括设备分类结果、测试结果、数据分析结果和设备适用性的结论。报告应该清晰、准确地描述测试过程和结果,并应该包括任何必要的附加信息。

总之,ISO 14644-14:2016标准是一项关于洁净室和相关受控环境的标准,主要涉及设备的适用性评估。该标准规定了通过空气中颗粒物浓度评估设备适用性的方法和程序,包括设备的分类、测试方法、数据分析和报告要求。该标准适用于所有类型的洁净室和相关受控环境,包括生产、研究和实验室环境。

相关标准
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- ISO 14644-2:2015 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
- ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
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