洁净室和相关受控环境的表面清洁是确保洁净室和相关受控环境的关键因素之一。表面清洁的目的是去除表面的颗粒和污染物，以确保洁净室和相关受控环境的空气质量符合要求。表面清洁的方法和程序必须能够确保表面清洁的一致性和可重复性，以满足洁净室和相关受控环境的要求。

ISO 14644-13:2017标准规定了表面清洁的要求和程序，包括表面清洁的定义级别、表面清洁的方法和程序、表面清洁的验证和监测等。该标准要求在表面清洁之前必须进行表面评估，以确定表面清洁的方法和程序。表面评估包括表面颗粒计数和化学分析等。

表面清洁的方法和程序必须能够确保表面清洁的一致性和可重复性。表面清洁的方法和程序必须根据表面的特性和清洁要求进行选择。表面清洁的程序必须包括清洁剂的选择、清洁剂的浓度、清洁剂的使用方法、清洁剂的清洗和去除等。表面清洁的程序必须经过验证和监测，以确保表面清洁的一致性和可重复性。

表面清洁的验证和监测必须包括表面颗粒计数和化学分析等。表面颗粒计数必须根据表面清洁的定义级别进行选择。化学分析必须根据表面清洁的化学分类进行选择。表面清洁的验证和监测必须经过记录和报告，以便于追溯和审计。

相关标准
- ISO 14644-1:2015 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration
- ISO 14644-2:2015 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
- ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
- ISO 14644-4:2001 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 4: Design, construction and start-up
- ISO 14644-5:2004 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 5: Operations