ISO 19685:2017
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for Pirani gauges
发布时间:2017-09-20 实施时间:


皮拉尼压力计是一种常用的真空度测量仪器,广泛应用于半导体、光学、航空航天、医疗设备等领域。为了保证皮拉尼压力计的准确性和可靠性,ISO 19685:2017对该压力计的规范、校准和测量不确定度进行了详细的规定。

首先,该标准规定了皮拉尼压力计的技术要求。其中,压力范围是指皮拉尼压力计能够测量的最大和最小压力值,通常为10^-3至10^5 Pa;灵敏度是指皮拉尼压力计对压力变化的响应能力,通常为10^-3至10^-4 Pa;响应时间是指皮拉尼压力计从压力变化到达稳定状态所需的时间,通常为几秒至几十秒;温度影响是指皮拉尼压力计在不同温度下的测量误差,通常为几百至几千Pa/K。

其次,该标准规定了皮拉尼压力计的校准方法。皮拉尼压力计的校准需要使用标准压力计进行比较,校准设备应具备足够的精度和稳定性。校准程序应包括校准前的准备工作、校准过程中的数据记录和校准结果的评估等步骤。校准结果应记录在校准证书中,包括校准日期、校准压力值、校准不确定度等信息。

最后,该标准规定了皮拉尼压力计的测量不确定度的计算方法。皮拉尼压力计的测量不确定度包括了各种误差来源,如灵敏度误差、零点漂移、温度影响等。测量不确定度的计算需要根据实际情况进行评估和计算,以保证测量结果的可靠性和精度。

总之,ISO 19685:2017对皮拉尼压力计的规范、校准和测量不确定度进行了详细的规定,可以保证皮拉尼压力计的准确性和可靠性,提高真空度测量的精度和可重复性,为各种应用领域提供可靠的真空度测量手段。

相关标准
- ISO 21360-1:2019 真空技术-压力计-规范和校准方法-第1部分:绝对压力计
- ISO 21360-2:2019 真空技术-压力计-规范和校准方法-第2部分:电离规
- ISO 21360-3:2019 真空技术-压力计-规范和校准方法-第3部分:热电阻式压力计
- ISO 21360-4:2019 真空技术-压力计-规范和校准方法-第4部分:热导率压力计
- ISO 21360-5:2019 真空技术-压力计-规范和校准方法-第5部分:毛细压力计