ISO 14644-15:2017
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration
发布时间:2017-10-26 实施时间:


ISO 14644-15:2017标准是ISO 14644系列标准的一部分,该系列标准规定了洁净室和相关受控环境的设计、建造、操作和监测要求。本标准主要关注洁净室和相关受控环境中使用的设备和材料的适用性评估。

洁净室和相关受控环境中的空气化学浓度是影响环境质量的重要因素之一。本标准规定了通过空气化学浓度评估设备和材料适用性的方法。该方法包括以下步骤:

1. 确定评估的化学物质和其允许的最大浓度。
2. 确定评估的设备和材料的使用条件。
3. 测量空气中化学物质的浓度。
4. 计算化学物质的浓度是否超过允许的最大浓度。
5. 根据计算结果评估设备和材料的适用性。

本标准还规定了评估结果的分类方法。根据评估结果,设备和材料可以被分类为以下三类:

1. 适用:化学物质的浓度低于允许的最大浓度,设备和材料可以在洁净室和相关受控环境中使用。
2. 可接受:化学物质的浓度略高于允许的最大浓度,但不会对环境产生负面影响,设备和材料可以在洁净室和相关受控环境中使用。
3. 不适用:化学物质的浓度超过允许的最大浓度,设备和材料不适合在洁净室和相关受控环境中使用。

本标准还规定了评估的频率和记录要求。评估应该在设备和材料使用前进行,并且应该定期进行重新评估。评估结果应该记录并保存至少两年。

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