真空技术是现代科学技术中的重要组成部分，广泛应用于半导体制造、光学薄膜、材料科学、生物医学等领域。在真空技术中，真空计是一种用于测量真空度的仪器。四极质谱仪是一种常用的真空计，它可以测量气体分子的质量和相对丰度，广泛应用于真空系统中的气体分析和质谱成像等领域。

ISO/TS 20175:2018标准规定了用于部分压力测量的四极质谱仪的表征方法。该标准适用于在真空系统中使用的四极质谱仪，用于测量气体分子的质量和相对丰度。该标准描述了四极质谱仪的性能参数和测试方法，包括质量分辨率、灵敏度、线性范围、分析时间和分析误差等。该标准还提供了四极质谱仪的校准方法和不确定度评估方法。

ISO/TS 20175:2018标准要求四极质谱仪的质量分辨率应大于4，灵敏度应小于10^-14 A/Pa，线性范围应大于10^4，分析时间应小于1 s，分析误差应小于10%。在测试四极质谱仪性能时，应使用标准气体进行测试，并按照标准方法进行测试。在校准四极质谱仪时，应使用标准气体进行校准，并按照标准方法进行校准。在评估四极质谱仪的不确定度时，应考虑到各种误差来源，包括仪器误差、环境误差和操作误差等。

ISO/TS 20175:2018标准的实施可以提高四极质谱仪的测量精度和可靠性，保证真空系统的稳定性和安全性。该标准适用于真空技术领域的从业人员、研究人员和相关机构。

相关标准
- ISO 3567:2011 真空技术-真空计-标准大气压下的校准方法
- ISO 16017-1:2001 空气质量-室内空气-部分有机化合物的采样和分析-第1部分：采样策略
- ISO 14644-1:2015 净化室和相关受控环境的分类
- ISO 14644-2:2015 净化室和相关受控环境的监测
- ISO 14644-3:2019 净化室和相关受控环境的试验和测量方法