ISO/TS 20177:2018
Vacuum technology — Vacuum gauges — Procedures to measure and report outgassing rates
发布时间:2018-06-12 实施时间:


真空技术是一种重要的技术,在许多领域都有广泛的应用,如半导体制造、航空航天、医疗设备等。真空技术的核心是真空系统,而真空计则是真空系统中的重要组成部分。真空计的作用是测量真空系统中的压力,以便更好地了解真空系统的性能和稳定性。而放气速率则是真空系统中的一个重要参数,它反映了真空系统中的气体泄漏情况。因此,测量和报告放气速率对于真空系统的性能和稳定性至关重要。

ISO/TS 20177:2018标准提供了一种标准化的方法来测量和报告真空系统中的放气速率。该标准包括以下内容:

1.术语和定义:该部分定义了与放气速率相关的术语和定义,以便更好地理解该标准的内容。

2.测量放气速率的方法:该部分介绍了测量放气速率的方法,包括实验装置的设计、实验条件的选择、实验步骤的描述等。

3.报告放气速率的方法:该部分介绍了报告放气速率的方法,包括报告格式的选择、报告内容的描述等。

4.放气速率的计算:该部分介绍了放气速率的计算方法,包括理论计算方法和实验计算方法。

5.放气速率的不确定度:该部分介绍了放气速率的不确定度的计算方法,以便更好地评估测量结果的可靠性。

6.实验结果的解释:该部分介绍了如何解释实验结果,以便更好地了解真空系统的性能和稳定性。

总之,ISO/TS 20177:2018标准提供了一种标准化的方法来测量和报告真空系统中的放气速率,以便更好地了解真空系统的性能和稳定性。该标准的实施可以提高真空技术的水平,促进真空技术的发展。

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