涡轮分子泵是一种高效的真空泵，广泛应用于半导体、光学、航空航天、医疗等领域。涡轮分子泵的性能测量是非常重要的，因为它直接影响到泵的使用效果和使用寿命。ISO 21360-4:2018标准提供了一种标准化的涡轮分子泵性能测量方法，以确保测量结果的准确性和可比性。

该标准主要包括以下内容：

1.术语和定义：介绍了涡轮分子泵性能测量中所使用的术语和定义，以确保不同用户之间的理解一致。

2.测试装置：介绍了涡轮分子泵性能测量所需的测试装置，包括真空室、泵和测量仪器等。

3.测试程序：详细介绍了涡轮分子泵性能测量的测试程序，包括泵速测量、抽气速度测量、压缩比测量、极限压力测量和气体质量流量测量等。

4.测试结果的处理和报告：介绍了涡轮分子泵性能测量结果的处理和报告方法，包括数据处理、误差分析和结果报告等。

该标准的实施可以确保涡轮分子泵性能测量结果的准确性和可比性，从而为用户选择最适合其应用的涡轮分子泵提供了可靠的依据。

相关标准
- ISO 21360-1:2019 真空技术——测量涡轮分子泵性能的标准方法——第1部分：通用要求
- ISO 21360-2:2019 真空技术——测量涡轮分子泵性能的标准方法——第2部分：抽气速度测量
- ISO 21360-3:2019 真空技术——测量涡轮分子泵性能的标准方法——第3部分：压缩比测量
- ISO 21360-5:2019 真空技术——测量涡轮分子泵性能的标准方法——第5部分：气体质量流量测量
- ISO 21360-6:2019 真空技术——测量涡轮分子泵性能的标准方法——第6部分：极限压力测量