ISO 14644-12:2018标准主要针对纳米颗粒的监测，因为纳米颗粒对人体健康的影响更大，同时也更难控制。该标准规定了纳米颗粒的监测方法、监测设备、监测频率等要求，以确保洁净室内的空气清洁度符合要求。

该标准要求洁净室内的纳米颗粒浓度应该低于一定的限制值，这个限制值根据洁净室的等级和使用目的而定。标准中规定了不同等级的洁净室内纳米颗粒的限制值，如表1所示。

表1 洁净室内纳米颗粒的限制值

| 洁净室等级 | 纳米颗粒浓度限制值 |
| --- | --- |
| ISO 1 | 10个/立方米 |
| ISO 2 | 100个/立方米 |
| ISO 3 | 1,000个/立方米 |
| ISO 4 | 10,000个/立方米 |
| ISO 5 | 100,000个/立方米 |
| ISO 6 | 1,000,000个/立方米 |
| ISO 7 | 10,000,000个/立方米 |
| ISO 8 | 100,000,000个/立方米 |

为了确保洁净室内的纳米颗粒浓度符合要求，该标准要求对洁净室内的空气进行定期监测。监测的频率和方法应该根据洁净室的等级和使用目的而定。标准中规定了不同等级的洁净室内纳米颗粒的监测频率和方法，如表2所示。

表2 洁净室内纳米颗粒的监测频率和方法

| 洁净室等级 | 监测频率 | 监测方法 |
| --- | --- | --- |
| ISO 1 | 每月 | 在运行状态下进行 |
| ISO 2 | 每月 | 在运行状态下进行 |
| ISO 3 | 每月 | 在运行状态下进行 |
| ISO 4 | 每月 | 在运行状态下进行 |
| ISO 5 | 每周 | 在运行状态下进行 |
| ISO 6 | 每周 | 在运行状态下进行 |
| ISO 7 | 每周 | 在运行状态下进行 |
| ISO 8 | 每周 | 在运行状态下进行 |

除了纳米颗粒的监测，该标准还规定了其他一些要求，如洁净室的设计、建设、运行和维护等方面的要求。这些要求旨在确保洁净室内的空气清洁度符合要求，从而保证洁净室内的产品质量和人员健康。

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