次级离子质谱（Secondary Ion Mass Spectrometry，SIMS）是一种表面化学分析技术，可用于分析材料表面的元素、化合物和分子等信息。SIMS技术的核心是质谱仪，其中质量分析器是质谱仪的关键部件之一。质量分析器的质量标尺校准是保证质谱仪质量测量结果准确性和可重复性的重要环节。

ISO 13084:2018标准规定了使用飞行时间次级离子质谱仪进行质量标尺校准的方法和程序。该标准要求在校准前进行质谱仪的性能检测，以确保质谱仪的各项参数符合要求。校准过程中，需要使用标准样品进行质量标尺校准，并对校准结果进行验证。校准后，还需要进行质谱仪的性能测试，以确保质谱仪的质量测量结果的准确性和可重复性。

ISO 13084:2018标准还规定了质量标尺校准过程中的实验条件和数据处理要求。校准过程中需要控制实验条件的稳定性和一致性，以确保校准结果的可靠性。数据处理方面，需要对校准数据进行处理和分析，以确定质量标尺的准确性和可靠性。

总之，ISO 13084:2018标准规定了飞行时间次级离子质谱仪质量标尺校准的方法和程序，为保证质谱仪质量测量结果的准确性和可重复性提供了技术支持和指导。

相关标准
- ISO 18115-1:2016 表面化学分析——次级离子质谱——第1部分：术语和定义
- ISO 18115-2:2016 表面化学分析——次级离子质谱——第2部分：仪器性能要求和检验方法
- ISO 18115-3:2016 表面化学分析——次级离子质谱——第3部分：数据处理和分析
- ISO 18115-4:2016 表面化学分析——次级离子质谱——第4部分：样品制备
- ISO 18115-5:2016 表面化学分析——次级离子质谱——第5部分：质量控制