表面化学分析是一种用于研究材料表面化学性质的方法。在表面化学分析中，常用的方法包括电子束、离子束、光束和X射线束等基于束的方法。这些方法可以用于测定材料表面的化学成分、结构和形貌等信息。然而，这些方法的分辨率和清晰度对于分析结果的准确性和可靠性至关重要。

ISO 18516:2019标准规定了在纳米至微米范围内基于束的方法中测定横向分辨率和清晰度的方法。该标准适用于使用电子束、离子束、光束和X射线束等方法进行表面化学分析的实验室。该标准要求使用标准样品进行测试，以确定仪器的横向分辨率和清晰度。测试结果应该包括横向分辨率和清晰度的数值和误差范围。此外，该标准还要求对测试结果进行分析和解释，以确定测试结果的可靠性和准确性。

在实际应用中，横向分辨率和清晰度的测定对于表面化学分析的结果至关重要。例如，在纳米材料的研究中，横向分辨率和清晰度的测定可以用于确定纳米颗粒的大小和形状等信息。在材料表面的化学成分分析中，横向分辨率和清晰度的测定可以用于确定化学成分的分布和形貌等信息。因此，该标准的实施可以提高表面化学分析的准确性和可靠性，促进材料科学的发展。

相关标准
- ISO 18115-1:2016 表面化学分析——电子能谱（ES）——第1部分：术语和定义
- ISO 18115-2:2016 表面化学分析——电子能谱（ES）——第2部分：仪器性能要求和测试方法
- ISO 18116:2018 表面化学分析——扫描电子显微镜（SEM）——术语和定义
- ISO 18117:2014 表面化学分析——扫描电子显微镜（SEM）——仪器性能要求和测试方法
- ISO 18118:2015 表面化学分析——原子力显微镜（AFM）——术语和定义