ISO 20146:2019
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges
发布时间:2019-01-31 实施时间:


真空技术是现代科学技术中的重要分支,广泛应用于半导体、光学、航空航天、医疗等领域。在真空技术中,电容隔膜压力计是一种常用的真空度测量仪器,其测量范围广、精度高、响应速度快、使用方便等优点,使其成为真空度测量领域中的重要仪器。

ISO 20146:2019标准规定了电容隔膜压力计的规范、校准和测量不确定度,旨在确保电容隔膜压力计的测量结果的准确性和可靠性。该标准规定了电容隔膜压力计的基本要求,包括测量范围、测量不确定度、灵敏度、线性度、重复性、稳定性等。这些要求是保证电容隔膜压力计测量结果准确可靠的基础。

此外,该标准还规定了电容隔膜压力计的校准方法和程序,以确保其测量结果的准确性和可靠性。校准是保证电容隔膜压力计测量结果准确可靠的重要手段。标准规定了校准的方法和程序,包括校准设备的选择、校准点的选择、校准曲线的绘制等,以确保校准结果的准确性和可靠性。

此外,该标准还规定了电容隔膜压力计的测量不确定度的计算方法和要求,以确保测量结果的可比性和可靠性。测量不确定度是评价测量结果可靠性的重要指标,标准规定了测量不确定度的计算方法和要求,包括不确定度来源的分析、不确定度的计算公式、不确定度的表示方法等,以确保测量结果的可比性和可靠性。

最后,该标准还规定了电容隔膜压力计的使用和维护要求,以确保其长期稳定性和可靠性。使用和维护是保证电容隔膜压力计长期稳定性和可靠性的重要手段,标准规定了使用和维护的要求,包括使用环境的要求、使用方法的要求、维护方法的要求等,以确保电容隔膜压力计的长期稳定性和可靠性。

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