扫描探针显微镜（SPM）是一种高分辨率的表面形貌、表面形状和表面轮廓测量仪器。SPM通过扫描探针在样品表面的运动来测量样品表面的形貌、形状和轮廓。SPM具有高分辨率、高灵敏度和非接触式测量等优点，因此在材料科学、生物医学、纳米技术等领域得到了广泛应用。

SPM测量系统的准确性和可靠性对于获得准确的测量结果至关重要。ISO 11952:2019标准规定了使用SPM测量系统进行几何量测量的校准方法。该标准要求在进行SPM测量之前，必须对测量系统进行校准，以确保测量结果的准确性和可靠性。

该标准规定了校准方法、校准样品的要求、校准数据的处理和校准结果的报告。校准方法包括使用标准校准样品进行校准和使用自制校准样品进行校准两种方法。标准校准样品应符合ISO 5436-1标准的要求，自制校准样品应具有已知的几何形状和尺寸。

校准数据的处理包括对校准数据进行处理和分析，以确定测量系统的几何量测量误差。校准结果的报告应包括校准数据、校准结果和校准不确定度等信息。

ISO 11952:2019标准的实施可以提高SPM测量系统的准确性和可靠性，保证测量结果的准确性和可靠性，为SPM在材料科学、生物医学、纳米技术等领域的应用提供了可靠的技术支持。

相关标准
- ISO 5436-1:2017 表面化学分析-扫描探针显微镜-术语和定义
- ISO 18115-1:2016 表面化学分析-扫描探针显微镜-术语和定义
- ISO 14644-1:2015 纯净室和相关受控环境的分类
- ISO 14644-2:2015 纯净室和相关受控环境的监测
- ISO 14644-3:2019 纯净室和相关受控环境的试验和测量方法