真空技术是一门涉及物理、化学、机械等多个领域的交叉学科，广泛应用于半导体、光学、航空航天、医疗等领域。在真空技术中，真空泵是一个非常重要的设备，用于将容器内的气体抽出，从而达到一定的真空度。真空泵的种类繁多，不同类型的真空泵适用于不同的真空度范围和工作环境。为了方便真空技术领域的专业人员进行交流，需要一个标准化的词汇表，ISO 3529-2:2020就是为此而制定的标准。

ISO 3529-2:2020主要包含以下内容：

1. 真空泵的分类：根据不同的工作原理和结构特点，将真空泵分为了多个类别，如机械泵、分子泵、离子泵等。

2. 真空泵的结构：介绍了不同类型真空泵的结构组成，如机械泵的转子、定子、泵腔等部件。

3. 真空泵的工作原理：详细描述了各种真空泵的工作原理，如机械泵的离心力、分子泵的分子碰撞等。

4. 真空泵的性能参数：列举了真空泵的各项性能参数，如抽速、极限压力、泵速等。

5. 其他相关术语：除了真空泵本身的术语外，还包括了与真空泵相关的其他术语，如真空度、泵速曲线、泵油等。

通过ISO 3529-2:2020标准，真空技术领域的专业人员可以更加准确地理解和使用真空泵及相关术语，从而提高工作效率和交流质量。

相关标准
- ISO 14644-1:2015 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness
- ISO 14644-2:2015 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
- ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods
- ISO 14644-4:2001 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 4: Design, construction and start-up
- ISO 14644-5:2004 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations